下の表は、クリーンルームの洗浄度（どれだけきれいなのか？）を表す規格表です。よく目にするのではないでしょうか？
ちなみに「μm」の呼び方ですが、マイクロメートルと呼びます。クリーンルームの洗浄度の話の際に、「ミクロン」という言葉を耳にした方も多いと思いますが、1μmと1ミクロンは同じ大きさです（コトバンクをみると、ミクロンはマイクロメートルの慣用名だそうです）。
旧連邦規格とは、アメリカの連邦規格だったもので、1ft³（立法フィート・1ft＝0.3048m⇒約30cmです）の空間に0.5μｍ以上の粒子が何個存在するかを表現しています。ISO規格（ISO14644‐1）が制定され、連邦規格は廃止されたようですが、今でもクリーンルームの洗浄度を言う際には「クラス100」などのような連邦規格で表現することが多い気がします。
0.5μｍの大きさと言われてもイメージが難しいと思います。花粉の大きさが30～40μｍらしいのですが、それよりも更に小さいです。少々強引ですが、大きさを比較すると下記の様になります。（イメージです）
花粉と比較しても0.5μｍの粒子はここまで小さいです。クリーンルームがどれだけ繊細かイメージがつくでしょうか？
※余談ですが、この目に見えない粒子をどの様に図るかというと、通常パーティクルカウンタという機械を使って粒子数を計測しています。
これだけ繊細なクリーンルームなため、人間が通常の服で入室すると、服そのものから出る粒子（糸ケバ、ホコリなど）や、露出している出てくる人間から発塵されるもの（髪の毛、皮膚等々）ですぐに部屋が汚染されてします。そのため、クリーンルームに入るためには、防塵服（無塵衣、クリーンスーツ等呼び方は様々）と呼ばれる専用の服を着て入場することになります。
防塵服については、また別の機会で説明したいと思いますが、ハイグレード対応の服になるとまるで宇宙服の様になります。
※イメージです
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